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产品展示
FF型复合分子泵
  • 用途及特点
  • 规格参数
     
    产品用途:Product Applications
     
    ●FF型复合分子泵用来获得高真空和超高真空,其广泛应用于高能加速器、可控热核反应装置、等离子体物理空间研究、表面物理和分析仪器、半导体和光学元器件制造、平板显示、太阳能电池、真空镀膜、真空冶炼等涉及真空技术的电子、冶金、化工、科研等众多领域。

     
    产品特点:Product Features
     
    ●高压强段保持较大、稳定的抽速;
    ●前级耐压能力强;
    ●抗冲击能力强;
    ●易获得清洁的高真空或超高真空;
    ●设计独特的转子,安全性高;
    ●特殊的冷却系统,散热性好;
    ●振动小、噪音低;
    ●结构紧凑,安装、维护方便。
    FF型复合分子泵
    Model FF Compound Molecular Pump
     
    技术参数Technical specifications:

    型号 Model FF-250/1600 FF-160/620
    ******工作压力Minimum operational pressure(Pa) <1×10-6 <6×10-7
    抽气速率(对空气)Pumping speed for air(L/s) 1700 600
    压缩比Compression ratio 对氮气 For N2 >108 >109
    对氢气 For H2 >5×103 >6×103
    进气口法兰Inlet flange LF250(DN250  IS0-K) DN160CF
    排气口法兰Outlet flange KF50(DN50  IS0-KF) KF40
    启动时间Starting time(min) ≤8 ≤5
    额定转速Rated rotational speed (r/min) 27000 27000
    振动值Libration value(μm) ≤0.1 ≤0.1
    注油量Oiling capacity (ml) 210 210
    推荐前级泵Recommended forevacuum pump 2XZ-15D(15L/s) 2XZ-4B/2XZ-8D(4-8L/s)
    轴承Bearing 精密陶瓷球轴承
    Precision ceramic balls bearing
    精密陶瓷球轴承
    Precision ceramic balls bearing
    安装方式Operational orientation 竖直Vertical(±5°) 竖直Vertical(±5°)
    冷却方式Cooling method 水冷 Water cooling 水冷 Water cooling
    冷却水温度Cooling water temperature(℃) ≤25 ≤25
    冷却水压力Cooling water pressure(MPa) 0.196 0.196
    泵体烘烤温度Pump body baking temperature(℃) ≤100 ≤100
    环境温度Environment temperature(℃) 5~40 5~40
    重量Weight(Kg) 47 30
     

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