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产品展示
RK DZQ270-1A电子束蒸发源
  • 用途及特点
  • 规格参数
    产品特点
     
    ●RK DZQ270-1A型电子***为开放式电子***,可以和任意穴位坩埚配用;
    ●采用270度内藏式灯丝,有效避免了熔料对灯丝的污染,提高了灯丝的寿命;
    ●配有专用水冷结构对永磁体进行冷却保护,确保束流长时间稳定工作;
    ●维护保养简捷方便,配有更换灯丝的专用工装。
    技术指标
     
    ●加速电压:-6KV~-10KV
    ●******电子束流:1A
    ●******功率:10KW
    ●电子束偏转角:270°
    ●电子束扫描范围:15mm×15mm(X/Y)
    ●冷却水速率:******速度8L/分(水温在15℃~25℃,压差不低于0.1MPa,******压力不高于0.3MPa)
    ●气密性:漏率不高于1.33×10-5Pa.L/S
    ●工作真空度范围:5×10-4Pa~5×10-2Pa
    ●外形尺寸:W148×H158×Dl84(mm)
    ●重量:约10Kg

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